Referenzen in der Automatisierungstechnik/ Halbleitertechnik
Wafer-Handling-System
- Abb.: Wafer-Handling-System (Brooks Automation GmbH)
Funktion
Modul zum Handling und zur Prüfung von 300mm-Wafern im Herstellungsprozess
Unsere Leistung
Montage, Inbetriebnahme und Prüfung unter Reinraumbedingungen (Reinraumklasse 10.000), Endreinigung (Reinraumklasse 100)
Semiconductor-Equipment Referenzprojekte
Vortrag zur Veranstaltung Photovoltaik trifft Anlagen- und Maschinenbau vom 23.06.2010
Rub: Hinweise