Title: Wafer-Handling-System
Subtitle: www.praezisionsmontage.de: Wafer-Handling-System
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Referenzen in der Automatisierungstechnik/ Halbleitertechnik

Wafer-Handling-System

Wafer-Handling-System
Abb.: Wafer-Handling-System (Brooks Automation GmbH)

Funktion

Modul zum Handling und zur Prüfung von 300mm-Wafern im Herstellungsprozess

Unsere Leistung

Montage, Inbetriebnahme und Prüfung unter Reinraumbedingungen (Reinraumklasse 10.000), Endreinigung (Reinraumklasse 100)





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