Referenzen in der Automatisierungs- und Halbleitertechnik

Optisches Prüfmodul zur Waferscheibenprüfung

Abb.: Imaging Inspection Modul
Imaging Inspection Modul

 

 

 

 

Funktion

Optisches Prüfmodul für sehr schnelle Inspektion von strukturierten und unstrukturierten Halbleiterscheiben im Durchmesser von 200 und 300 mm. Die Oberflächenprüfung der Halbleiterscheiben erfolgt nahezu in Echtzeit wobei in einem großen Bereich Fehlstellen und Mängel erkannt werden.

Unsere Leistung

  • Mitwirkung an der Konstruktion
  • Materialbeschaffung
  • Serienfertigung des Moduls nach Kundenvorgaben
  • Logistik