Referenzen in der Automatisierungs- und Halbleitertechnik

Wafer-Handling-System

 

Abb.: Wafer-Handling-System (Brooks Automation GmbH)
Wafer-Handling-System

 

Funktion

Modul zum Handling und zur Prüfung von 300mm-Wafern im Herstellungsprozess

Unsere Leistung

Montage, Inbetriebnahme und Prüfung unter Reinraumbedingungen (Reinraumklasse 10.000), Endreinigung (Reinraumklasse 100)