Referenzen in der Automatisierungs- und Halbleitertechnik
Wafer-Handling-System
Funktion
Modul zum Handling und zur Prüfung von 300mm-Wafern im Herstellungsprozess
Unsere Leistung
Montage, Inbetriebnahme und Prüfung unter Reinraumbedingungen (Reinraumklasse 10.000), Endreinigung (Reinraumklasse 100)