Referenzen in der Automatisierungs- und Halbleitertechnik

Wafer-Handling-System

 

 

Funktion

Modul zum Handling und zur Prüfung von 300mm-Wafern im Herstellungsprozess

Unsere Leistung

Montage, Inbetriebnahme und Prüfung unter Reinraumbedingungen (Reinraumklasse 10.000), Endreinigung (Reinraumklasse 100)